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[光学材料] 找货:6英寸碳化硅多层外延片,数 量:22个;

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发表于 5 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式

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6英寸碳化硅多层外延片,数 量:22个;技术要求:(1)晶圆尺寸:6英寸;(2)衬底要求:N型MOS级衬底,<11-20>晶向,厚度350μm(±20μm),电阻率0.015-0.025Ω cm,MPD<0.1cm-2,BPD<500cm-2,TSD<200cm-2,WARP<30μm,TTV<15μm等


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